[实用新型]直拉法单晶硅生产用石英坩埚有效
| 申请号： | 201220130465.5 | 申请日： | 2012-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN202558962U | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 张勇 | 申请（专利权）人： | 安徽中科太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 安徽信拓律师事务所 34117 | 代理人： | 娄尔玉 |
| 地址： | 239200 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及直拉法单晶硅生产用石英坩埚，包括石英坩埚本体，本体内壁具有保护涂层，所述石英坩埚的埚体内壁的保护涂层为碳酸钡涂层，所述内壁的保护涂层的厚度为1至3微米。本实用新型内壁的碳酸钡涂层可与硅产生化学反应，生成性质稳定的硅酸钡，硅酸钡附着在石英坩埚的内壁，不会与高温硅熔体产生化学反应，所以在单晶硅的生产过程中，石英坩埚的内壁不会被高温硅熔体侵蚀，高温下具有高强度并改善硅晶体晶格完美性的石英坩埚，具有较高的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 直拉法 单晶硅 生产 石英 坩埚 | ||
【主权项】：
一种直拉法单晶硅生产用石英坩埚，包括石英坩埚本体，其特征在于：所述本体内壁具有保护涂层。
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