[实用新型]一种平面靶磁场强度的检测装置有效
| 申请号： | 201220108299.9 | 申请日： | 2012-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN202548307U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 盛国浩;李毅 | 申请（专利权）人： | 深圳市创益科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02 |
| 代理公司： | 深圳市毅颖专利商标事务所 44233 | 代理人： | 张艺影;李奕晖 |
| 地址： | 518029 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁控溅射装置中平面靶的磁场强度的检测设备，属于磁控溅射镀膜领域的检测技术。平面靶磁场强度的检测装置，包括检测机构、机架及其平台，平面靶放置在机架的平台上，机架上设有移动装置，检测机构安装在移动装置的滑动架上，滑动架带动检测机构做X向和Y向运动，实现测量位置的一致性，保证测量数据的准确性和再现性，操作简便，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 磁场强度 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种平面靶磁场强度的检测装置，包括检测机构、机架及其平台，平面靶放置在机架的平台上，其特征在于机架上设有移动装置，检测机构安装在移动装置的滑动架上，滑动架带动检测机构做X向和Y向运动。
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