[实用新型]多晶硅断裂强度的在线测试结构

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅断裂强度的在线测试结构，包括第一测试单元、第二测试单元、第三测试单元和绝缘衬底，所述第一测试单元、第二测试单元和第三测试单元设置在绝缘衬底上；对测试结构进行简单的电流激励并测量相关电阻，将测量得到的相关电阻值代入计算公式，利用多个计算方程消去热膨胀系数，最终得到多晶硅的断裂强度。本实用新型的测试过程简单，测试设备要求低，测试结构的加工过程与微机电器件MEMS同步，没有特殊加工要求，符合在线测试的要求，计算方法仅限于简单数学方程，测试与计算过程稳定，输出结果可靠。

主权项

一种多晶硅断裂强度的在线测试结构，其特征在于，包括第一测试单元、第二测试单元、第三测试单元和绝缘衬底，所述第一测试单元、第二测试单元和第三测试单元设置在绝缘衬底上；所述第一测试单元包括第一对固定锚区(C‑C)、第一独立锚区(D)、第一多晶硅接触块(101)、第一多晶硅指针(102)和第一多晶硅膨胀条(103)，其中：第一对固定锚区(C‑C)和第一独立锚区(D)分别固定在绝缘衬底上，第一多晶硅膨胀条(103)的两端分别固定在第一对固定锚区(C‑C)上，第一多晶硅指针(102)的一端固定在第一多晶硅膨胀条(103)中间，另一端悬空，第一多晶硅接触块(101)位于第一多晶硅指针(102)的悬空端且固定在第一独立锚区(D)上，第一多晶硅接触块(101)、第一多晶硅指针(102)和第一多晶硅膨胀条(103)分别悬空；第二测试单元包括第二对固定锚区(E‑E)、第二独立锚区(F)、第二多晶硅接触块(201)、第二多晶硅指针(202)和第二多晶硅膨胀条(203)，其中：第二对固定锚区(E‑E)和第二独立锚区(F)分别固定在绝缘衬底上，第二多晶硅膨胀条(203)的两端分别固定在第二对固定锚区(E‑E)上，第二多晶硅指针(202)的一端固定在第二多晶硅膨胀条(203)中间，另一端悬空，第二多晶硅接触块(201)位于第二多晶硅指针(202)的悬空端且固定在第二独立锚区(F)上，第二多晶硅接触块(201)、第二多晶硅指针(202)和第二多晶硅膨胀条(203)分别悬空，第一多晶硅指针(102)比第二多晶硅指针(202)短；第三测试单元包括第三对固定锚区(G‑G)、第三独立锚区(H)、多晶硅驱动梁(301)和多晶硅断裂条(302)；其中：第三对固定锚区(G‑G)和第三独立锚区(H)分别固定在绝缘衬底上，多晶硅驱动梁(301)的两端分别固定在第三对固定锚区(G‑G)上，多晶硅断裂条(302)的一端固定在多晶硅驱动梁(301)的中间，另一端固定在第三独立锚区(H)，多晶硅驱动梁(301)和多晶硅断裂条(302)分别悬空。