[发明专利]CMP浆料组合物和使用其的抛光方法有效
| 申请号： | 201210593238.0 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103184011A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 卢炫秀;金东珍;朴容淳;金容国;郑荣哲 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张英;王玉桂 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种CMP浆料组合物和使用其的抛光方法。所述CMP浆料组合物包含金属氧化物颗粒、二异氰酸酯化合物和去离子水。所述CMP浆料组合物能够选择性地控制具有凸出部分和凹进部分的晶片表面的抛光速度，使得快速进行一次抛光和二次抛光，同时在二次抛光时停止氮化物层的抛光。 | ||
| 搜索关键词： | cmp 浆料 组合 使用 抛光 方法 | ||
【主权项】：
一种CMP浆料组合物，包含：金属氧化物颗粒；二异氰酸酯化合物；和去离子水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于第一毛织株式会社，未经第一毛织株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210593238.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
