[发明专利]一种晶圆预对准方法

摘要

本发明提供了一种晶圆预对准方法，包括利用高精度激光透过式传感器，根据晶圆边缘一周数据，通过构造晶圆形心检测的数学模型，计算出晶圆的形心位置坐标径向位移最大偏心量e_max、以及径向位移最大偏心处与水平Y向的夹角带动晶圆旋转角度使径向位移最大偏心量e_max与水平Y向处于一条直线上，完成晶圆的形心定位；并根据形心算法精确定位晶圆缺口。本发明用光透式传感器来检测晶圆的边缘，用形心算法确定晶圆形心和缺口位置，有效地提高了定位方法的精度，减小了预对准装置占用的时间空间，降低了成本。

主权项

1.一种晶圆预对准方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：令外部的晶圆传输机械手将晶圆交接给晶圆预对准装置，利用视觉检测单元（5）通过检测接收光强的变化率，判断晶圆是否已放置到真空吸附单元（4）上，当检测到晶圆已放置时，触发运动控制单元（7），使真空吸附单元（4）固定晶圆；通过θ-Y二自由度运动单元（2）带动真空吸附单元（4）使晶圆旋转一周，视觉检测单元（5）中的激光透过式传感器检测出晶圆的边缘位置，通过数据采集单元（6）同步采集激光透过式传感器获得的晶圆边缘一周数据；步骤2：令运动控制单元（7）利用从数据采集单元（6）获取的晶圆边缘一周数据，计算出晶圆的形心位置坐标径向位移最大偏心量e_max、以及径向位移最大偏心量处与水平Y向的夹角步骤3：通过运动控制单元（7）发出指令使θ-Y二自由度运动单元（2）中的θ向旋转平台带动晶圆旋转角度使径向位移最大偏心量e_max与水平Y向处于一条直线上，将径向位移最大偏心量e_max调整到Y轴上，通过垂直过渡单元（3）上升使晶圆脱离θ-Y二自由度运动单元（2），θ-Y二自由度运动单元（2）中的Y向直线运动平台移动，θ向旋转平台的中心与晶圆的形心晶圆重合，完成晶圆的形心定位；步骤4：令垂直过渡单元（3）下降并使真空吸附单元（4）固定晶圆，θ-Y二自由度运动单元（2）再次带动真空吸附单元（4）使晶圆旋转一周，视觉检测单元（5）检测出晶圆的边缘位置，数据采集单元（6）同步采集晶圆边缘一周数据，运动控制单元（7）分析晶圆边缘一周数据完成缺口数据段的定位，并发出指令使θ-Y二自由度运动单元（2）将缺口数据段旋转到激光透过式传感器附近对其进行小范围细采样，数据采集单元（6）同步采集数据；运动控制单元（7）利用从数据采集单元（6）获取的数据，计算出晶圆实际的缺口形心位置，得到晶圆的缺口位置与Y向的夹角步骤5：运动控制单元（7）发出指令使θ-Y二自由度运动单元（2）中的θ向旋转平台带动晶圆旋转到指定角度，完成晶圆缺口定位。