[发明专利]一种晶圆预对准装置

摘要

本发明提供了一种晶圆预对准装置，包括工作台面、θ-Y二自由度运动单元、垂直过渡单元、真空吸附单元、以及视觉检测单元，其中：所述θ-Y二自由度运动单元用于调整晶圆的偏心量和缺口位置；垂直过渡单元用于临时放置晶圆，使晶圆与θ-Y二自由度运动单元能够完全脱离开，从而达到调整偏心量的目的；真空吸附单元同轴固定在θ-Y二自由度运动单元上，用于固定晶圆，使其能实现对心和缺口定位；视觉检测单元用于检测晶圆的边缘位置和缺口位置。本发明设计的晶圆预对准装置可以实现将晶圆的最大径向位移偏心量旋转到一个轴上，这样就能有效地减少一个X向自由度，从而对于晶圆的预对准装置减少了一个直线运动平台，节省了成本，提高定位效率。

主权项

一种晶圆预对准装置，其特征在于，包括工作台面(1)、θ‑Y二自由度运动单元(2)、垂直过渡单元(3)、真空吸附单元(4)、以及视觉检测单元(5)，其中：所述θ‑Y二自由度运动单元(2)用于调整晶圆的偏心量和缺口位置，固定于工作台面(1)上；垂直过渡单元(3)垂直固定在工作台面(1)上，用于临时放置晶圆，使晶圆与θ‑Y二自由度运动单元(2)能够完全脱离开，从而达到调整偏心量的目的；真空吸附单元(4)同轴固定在θ‑Y二自由度运动单元(2)上，用于固定晶圆，使其能实现对心和缺口定位；视觉检测单元(5)用于检测晶圆的边缘位置和缺口位置，与垂直过渡单元(3)平行固定在工作台面（1）上。