[发明专利]一种冶金法太阳能多晶硅等离子精炼提纯炉

摘要

本发明涉及太阳能多晶硅等离子精炼装置技术领域，具体说是一种用冶金法制备太阳能多晶硅的精炼提纯炉，该设备采用感应加热与等离子弧双重加热的方式，使金属硅预先形成局部熔池，成为金属硅固体料接受感应加热的起点，同时可以通过等离子弧直接快速熔化精炼所需的混合渣料，而不是通常利用硅液间接熔化渣料的方式，费时耗能；与目前国内外单晶硅、多晶硅炉普遍采用的石墨材质热场的间接式电阻加热方法相比，本发明可以用高温陶瓷复合坩埚，或者水冷铜坩埚作为反应器，不仅大大降低了生产成本，也减少了污染，缩短了熔炼时间，同時也解决了无机非金属材料无法采用感应加热的难题，使采用火法冶金手段进行高纯硅的提纯成为可能。

主权项

一种冶金法太阳能多晶硅等离子精炼提纯炉，包含炉体以及设置在炉体上的水冷炉盖，炉内含有水冷坩埚或复合坩埚、感应加热器、透气砖及充气系统，其特征在于：在水冷炉盖上部安置非转移弧等离子枪、等离子枪与水冷炉盖之间设有以水冷球体作回转升降的主体，装有可自动控制运行系统密封回转升降机构；坩埚上端的等离子发生器与坩埚周围的感应加热器构成的双重加热体系.以及可以选择多种气体和流量控制的充气系统和余热连续加料机构等，构成了本发明的特殊功能特性。