[发明专利]采用电磁加热的PVD设备有效
| 申请号： | 201210570478.9 | 申请日： | 2012-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN103074580A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 王奉瑾 | 申请（专利权）人： | 王奉瑾 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于材料镀膜设备领域，提供了一种采用电磁加热的PVD设备，包括壳体，壳体具有密封的腔体，壳体内设置有将腔体分隔为上腔和下腔的密封装置，用于容放靶材并将靶材蒸发形成镀膜的蒸发舟设置于下腔内，壳体两相对的侧面分别开设有供待镀材料进入的进料口、供待镀材料离开的出料口，下腔体内还设置有用于加热靶材的电磁加热组件，电磁加热组件套设于蒸发舟的外周。本发明提供的一种采用电磁加热的PVD设备，密封的腔体内设置有用于加热的电磁加热组件，其套设在蒸发舟外周，对蒸发舟内的靶材加热，采用电磁对靶材进行加热，其加热速度快、控温准确，提高了生产效率，并且，形成的镀膜均匀平整，达到了使用的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 电磁 加热 pvd 设备 | ||
【主权项】：
一种采用电磁加热的PVD设备，包括壳体，所述壳体具有密封的腔体，所述壳体内设置有将所述腔体分隔为上腔和下腔的密封装置，用于容放靶材并将所述靶材蒸发形成镀膜的蒸发舟设置于所述下腔内，所述壳体两相对的侧面分别开设有供待镀材料进入的进料口、供所述待镀材料离开的出料口，其特征在于，所述下腔体内还设置有用于加热所述靶材的电磁加热组件，所述电磁加热组件套设于所述蒸发舟的外周。
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