[发明专利]一种生产定向凝固多晶硅锭的方法有效
| 申请号： | 201210566923.4 | 申请日： | 2012-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN103014851A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 周浪;周耐根;林茂华 | 申请（专利权）人： | 南昌大学 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 330031 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种定向凝固多晶硅锭的方法，包括加热熔化、凝固长晶、冷却，其特征是在冷却阶段保持多晶硅锭底部散热通道继续开启，使多晶硅锭底部温度循之前趋势继续缓慢下降；与此同时逐渐减小炉子加热功率，使多晶硅锭温度持续下降，直至多晶硅锭温度降至300℃以下出炉。本发明大幅度降低定向凝固多晶硅锭位错密度，并且缩短定向凝固多晶硅锭生产周期，降低生产能耗和氩气消耗，减少坩埚对硅锭的扩散污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 定向 凝固 多晶 方法 | ||
【主权项】：
一种定向凝固多晶硅锭的方法，包括加热熔化、凝固长晶、冷却，其特征是在冷却阶段保持多晶硅锭底部散热通道继续开启，使多晶硅锭底部温度循之前趋势继续缓慢下降；与此同时逐渐减小炉子加热功率，使多晶硅锭温度持续下降，直至多晶硅锭温度降至400℃以下出炉。
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