[发明专利]压电震动发电装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201210559065.0 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103888020A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 冯淑兰;彭春雷 | 申请（专利权）人： | 北京嘉岳同乐极电子有限公司 |
| 主分类号： | H02N2/18 | 分类号： | H02N2/18;H01L41/113;H01L41/25 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 100083 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种压电震动发电装置的制造方法，包括：（1）提供一呈中空结构的基座；（2）提供第一底盖，将其设于基座的一个端部而使其与基座形成容置腔；（3）通过刻蚀晶圆及在刻蚀后的晶圆上形成柔性薄膜、压电片而制成数个发电单元；（4）提供至少一个发电单元并将其装设于容置腔内；（5）提供至少两根导电焊针，使其与发电单元电连接；（6）提供第二底盖，将其盖设于基座的另一个端部，并使导电焊针穿过第一或第二底盖从而形成导电电极。通过刻蚀晶圆及在刻蚀后的晶圆上形成柔性薄膜、压电片而制成数个发电单元，一次成型得到数个独立的发电单元，提高精度，缩短工艺时间，大大提高生产效率，降低生产成本。本发明还公开一种压电震动发电装置。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 震动 发电 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压电震动发电装置的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）提供一基座，所述基座呈中空结构；（2）提供第一底盖，将所述第一底盖盖设于所述基座的一个端部，所述第一底盖与所述基座形成容置腔；（3）通过刻蚀晶圆及在刻蚀后的所述晶圆上形成柔性薄膜、压电片而制成数个发电单元；（4）提供至少一个发电单元，将所述发电单元从所述基座的另一端部装设于所述容置腔内；（5）提供至少两根导电焊针，使所述导电焊针与所述发电单元电连接；及（6）提供第二底盖，将所述第二底盖盖设于基座的另一个端部，并使所述导电焊针穿过所述第一底盖或第二底盖从而形成导电电极。
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