[发明专利]一种显影喷嘴有效

专利信息
申请号: 201210554493.4 申请日: 2012-12-20
公开(公告)号: CN103019048A 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: 刘学平;王汉;向东;牟鹏;段广洪 申请(专利权)人: 清华大学深圳研究生院
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30;B05B1/14
代理公司: 深圳市汇力通专利商标代理有限公司 44257 代理人: 李保明;张慧芳
地址: 518055 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种显影喷嘴,包括相对设置的条形底座和上壳、以及若干喷液管,所述底座和上壳围成一个腔体,所述上壳设置给所述腔体供液的接嘴,所述底座设置连通所述腔体的若干阶梯状的通孔,所述若干喷液管分别安装在所述若干阶梯状的通孔内,喷液管包括管体部和管体部一端的管座部,管体部和管座部分别置于阶梯状通孔的小径孔部和大径孔部,且管座部和大径孔部之间设置密封环和套筒,所述底座上设置压板挤压所述套筒使所述密封环变形。本显影喷嘴能够实现大深径比的喷液管道,而且加工成本低,管内不会产生毛刺,显影液喷涂效果好。
搜索关键词: 一种 显影 喷嘴
【主权项】:
一种显影喷嘴,其特征在于:包括相对设置的条形底座(3)和上壳(1)、以及若干喷液管(7),所述底座和上壳围成一个腔体(8),所述上壳设置给所述腔体供液的接嘴(11),所述底座设置连通所述腔体的若干阶梯状的通孔(31),所述若干喷液管分别安装在所述若干阶梯状的通孔内,喷液管包括管体部(71)和管体部一端的管座部(72),管体部和管座部分别置于阶梯状通孔的小径孔部和大径孔部,且管座部和大径孔部之间设置密封环(6)和套筒(5),所述底座上设置压板(2)挤压所述套筒使所述密封环变形。
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