[发明专利]晶圆测试装置无效
| 申请号： | 201210545311.7 | 申请日： | 2012-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN103018496A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 龚虎;张伟;梁锦昌;江耀燕;门洪达 | 申请（专利权）人： | 深圳市天微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高新区北区朗山路*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆测试装置，该晶圆测试装置包括具有探针的针卡、承载晶圆的承片台、固定承片台的承片台固定板、固定承片台固定板的固定板安装板及驱动固定板安装板移动的移动机构，承片台固定板为电性绝缘的板材。该晶圆测试装置采用承片台固定板来代替常用的采用3个承片台固定座来承载承片台的方式，由于承片台固定板为电性绝缘的板材，所以其受力会比较均匀。这样承片台就不易出现变形，该晶圆测试装置也就具有测试准确，针卡使用寿命长的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种晶圆测试装置，其特征在于，包括具有探针的针卡、承载晶圆的承片台、固定承片台的承片台固定板、固定承片台固定板的固定板安装板及驱动固定板安装板移动的移动机构，所述承片台固定板为电性绝缘的板材。
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