[发明专利]刻蚀设备中的摆动装置和刻蚀设备有效
| 申请号： | 201210544605.8 | 申请日： | 2012-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN103014707A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 王其辉;于凯;白忠飞;李伟;宋泳珍;陈程;吴蒙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 黄灿;吕品 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的刻蚀设备中的摆动装置和刻蚀设备，其中，摆动装置包括用于传递驱动力的连杆机构以及用于容纳连杆机构的壳体，连杆机构包括与驱动电机的输出轴连接的第一螺杆以及与第一螺杆通过螺帽连接的第二螺杆，摆动装置还包括固定于第一螺杆上的标示装置以及用于检测标示装置的位置的传感器，传感器与警示设备电连接。本发明的刻蚀设备，包括本发明的刻蚀设备中的摆动装置。本发明的刻蚀设备中的摆动装置利用传感器检测第一螺杆位置的变化，以此监测螺帽是否松动，避免因壳体被带动、破坏而影响摆动装置的正常工作。本发明的刻蚀设备，因为安装了本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其安全性得到进一步加强。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 设备 中的 摆动 装置 | ||
【主权项】：
一种刻蚀设备中的摆动装置，包括用于传递驱动力的连杆机构以及用于容纳所述连杆机构的壳体，所述连杆机构包括与驱动电机的输出轴连接的第一螺杆以及与所述第一螺杆通过螺帽连接的第二螺杆，其特征在于，所述摆动装置包括固定于所述第一螺杆上的标示装置以及用于检测所述标示装置的位置的传感器，所述传感器与警示设备电连接。
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