[发明专利]碳纳米管复合薄膜场发射阴极的制备方法有效
| 申请号： | 201210544357.7 | 申请日： | 2012-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN103871802A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 陈婷;洪序达;陈垚;孙竹;桂建保;郑海荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 宋鹰武 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种碳纳米管复合薄膜场发射阴极的制备方法，包括：S1、制备碳纳米管/TiC/Ti复合材料；S2、将碳纳米管/TiC/Ti复合材料和纳米填充颗粒按质量比5：1-1：5混合，混合物加入到有机溶剂中，并采用超声进行分散，形成第一浆料；S3、在银电极上移植第一浆料，形成碳纳米管复合薄膜；S4、在200°C-600°C的温度下，将碳纳米管复合薄膜放入烧结炉进行真空烧结或还原气氛烧结，其中，烧结时间在15分钟以上；S5、利用腐蚀剂腐蚀除去碳纳米管复合薄膜烧结后表面的Ti，露出碳纳米管/TiC发射尖端，并形成碳纳米管复合薄膜场发射阴极。该方法制备的碳纳米管复合薄膜场发射阴极结构增强了碳纳米管发射体与基体粘附力和电接触、改善了场发射性能。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 复合 薄膜 发射 阴极 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种碳纳米管复合薄膜场发射阴极的制备方法，其特征在于，包括：S1、制备碳纳米管/TiC/Ti复合材料；S2、将碳纳米管/TiC/Ti复合材料和纳米填充颗粒按质量比5：1‑1：5混合，混合物加入到有机溶剂中，并采用超声进行分散，形成第一浆料；S3、在导电电极上移植第一浆料，形成碳纳米管复合薄膜；S4、在200°C‑600°C的温度下，将碳纳米管复合薄膜放入烧结炉进行真空烧结或还原气氛烧结，其中，烧结时间在15分钟以上；S5、利用腐蚀剂腐蚀除去碳纳米管复合薄膜烧结后表面的Ti，露出碳纳米管/TiC发射尖端，并形成碳纳米管复合薄膜场发射阴极。
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