[发明专利]一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的方法及设备

摘要

本发明属于冶金提纯技术领域，特别涉及一种取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的方法及设备。该方法是在惰性气体中，将硅料熔化形成硅熔体保温；进行定向凝固；待凝固完成85~90%时，停止拉锭，将石英管伸入剩余硅熔体中，之后用真空装置对石英管另一端抽真空，剩余硅熔体在压力差作用下进入石英管中，继续向下拉锭，待坩埚离开加热区后，将尾料收集箱伸至石英管正下方；切断电源，停止加热,石英管胀裂后随尾料下落至尾料收集箱中，坩埚得到的铸锭为高纯硅铸锭。本发明防止了杂质的反扩散，减少了工艺，提高了铸锭的出成率，在凝固结束阶段实现杂质富集区的直接分离，该设备改造安装方便，操作简单，能有效去除铸锭尾部富集的杂质，节约了生产周期和成本。

主权项

一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的方法，其特征是：在惰性气体保护环境中，将洗净的硅料加热至完全熔化形成硅熔体后保温；之后降温、垂直向下拉锭，进行定向凝固；待凝固完成85~90%时，停止拉锭，将石英管伸入上层未凝固的剩余硅熔体中，之后用真空装置对石英管另一端抽真空，上层未凝固的剩余硅熔体在压力差作用下进入石英管之中，待上层未凝固的剩余硅熔体全部压入石英管后，继续向下拉锭，待坩埚上端离开加热区后，将尾料收集箱伸至石英管正下方；切断电源，停止加热，石英管中熔体凝固膨胀，石英管胀裂后随尾料下落至尾料收集箱中，坩埚中凝固得到的铸锭即为高纯硅铸锭。