[发明专利]一种带有复合陶瓷膜的金属工件的制备工艺有效
申请号: | 201210536515.4 | 申请日: | 2012-12-12 |
公开(公告)号: | CN103014633A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 何霞文 | 申请(专利权)人: | 何霞文 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区松*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种带有复合陶瓷膜的金属工件的制备工艺,包括以下步骤:超声波清洗;二次炉内离子束放电清洗;第三次离子束电弧清洗;真空炉内电场和磁场中以金属离子致密成膜。和现有技术相比,本发明具有以下有益效果:水电镀的镀前前处理为酸碱性水处理,对环境有污染且用水量大;PVD镀前前处理为中性水处理,对环境无污染且用水量小。水电镀含有氰化物,在电镀时会产生大量的有毒气体和有毒废水,对环境污染极大,对水电镀工人的身体健康影响更大;PVD真空镀膜是金属靶材在真空炉内通过电场和磁场起到的物理变化,对环境无污染,金属工件在真空炉内通过多次清洗,使膜层的结合力更好不易脱落。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 复合 陶瓷膜 金属 工件 制备 工艺 | ||
【主权项】:
一种带有复合陶瓷膜的金属工件的制备工艺,包括以下步骤:1)超声波清洗;2)二次炉内离子束放电清洗;3)第三次离子束电弧清洗;4)真空炉内电场和磁场中以金属离子致密成膜。
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