[发明专利]一种中性大粒径高浓度高纯度硅溶胶、制备方法及其用途有效
| 申请号： | 201210518104.2 | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN103030151A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 杨训成;范渊卿;姜忠 | 申请（专利权）人： | 广东惠和硅制品有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/145 | 分类号： | C01B33/145;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨晞 |
| 地址： | 523455 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅溶胶的制备方法，所述方法包括如下步骤：（1）在醇溶剂中加入含有双氧水的催化剂和去离子水，搅拌均匀，配制溶液A；（2）在醇溶剂中加入硅酸酯，搅拌均匀，配制溶液B；（3）将溶液B加入溶液A中，常温下反应，然后进行蒸发浓缩，得到硅溶胶。通过本发明所述方法制备得到的硅溶胶，pH在7.0~7.5，粒径可控，粒径为50~160nm，粒径分布窄，固含量为30~60%，金属离子含量＜50ppm，稳定性长达一年，是一种中性大粒径高浓度高纯度硅溶胶。所述硅溶胶可用于硅晶圆抛光材料和半导体器件的化学机械抛光以及蓝宝石衬底材料的抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 中性 粒径 浓度 纯度 硅溶胶 制备 方法 及其 用途 | ||
【主权项】：
一种硅溶胶的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：（1）在醇溶剂中加入含有双氧水的催化剂和去离子水，搅拌均匀，配制溶液A；（2）在醇溶剂中加入硅酸酯，搅拌均匀，配制溶液B；（3）将溶液B加入溶液A中，常温下反应，然后进行蒸发浓缩，得到硅溶胶。
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