[发明专利]与3D轮廓术组合的相位步进错位干涉法的低相干干涉系统

摘要

本发明涉及与3D轮廓术组合的相位步进错位干涉法的低相干干涉系统，提供了一种便携工业仪器，该便携工业仪器用来按集成和双路方式，对待测试的物体进行干涉条纹投影和错位干涉，从而，当双路干涉仪（1）与相干或准相干投影装置（2）相关联时，仪器能够通过干涉条纹投影，测量物体的3D形状，也称作波纹法，并且当双路干涉仪（1）与记录或成像装置（4）相关联时，仪器能够对物体进行错位干涉测量，当从一种测量配置移动到另一种时，在干涉仪（1）中的横向光束的方向反转。

主权项

一种便携工业仪器，该便携工业仪器用来按集成和双路方式，对待测试的物体进行干涉条纹投影和错位干涉，该便携工业仪器包括：‑双路干涉仪（1），包括产生双向圆偏振光束的装置；‑相干或准相干光投影装置（2）；‑记录或成像装置（4）；‑第一位置（24）和第二位置（44），在该第一位置（24）处，所述双路干涉仪（1）定位成在功能上与相干或准相干光投影装置（2）相关联，在该第二位置（44）处，所述双路干涉仪（1）定位成在功能上与记录或成像装置（4）相关联，并且反之亦然；‑计算装置（6），包括视频和分析显示器；‑激励装置（5），专用于错位干涉或条纹投影测量；从而，当双路干涉仪（1）在第一位置（24）处与相干或准相干投影装置（2）相关联时，仪器能够通过干涉条纹投影测量物体的3D形状，也称作波纹法，并且当双路干涉仪（1）在第二位置（44）处与记录或成像装置（4）相关联时，仪器能够对物体进行错位干涉测量，当从一种测量配置移动到另一种时，在干涉仪（1）中的横向光束的方向反转，相干或准相干光的方向在两种操作模式中反转，所述仪器的特征在于：‑双路干涉仪（1）是可反转的，并且关于Savart板对称，该Savart板是中心，并且‑平移装置（3）包括轨道，该平移装置（3）用来精确地将所述双路干涉仪（1）从所述第一位置（24）移动到所述第二位置（44），并且反之亦然，该轨道在其端部之一处弯曲，具有“J”形状，从而干涉仪的精确移动与严格几何平移与角度转动的组合相对应，该角度不超过45°。