[发明专利]微机械系统中可动粱接触粘附的测量结构及其测量方法有效
| 申请号： | 201210516984.X | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN103017942A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 唐洁影;蒋明霞 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机械系统中可动粱接触粘附的测量结构，包括衬底、十字梁、下拉电极、拉动电极和衬底接触电极阵列；十字梁由横梁和扭转支撑梁组成，扭转支撑梁连接在衬底上；衬底接触电极阵列采用离子注入的掺杂方式形成在衬底的顶面，衬底接触电极阵列包括至少三根相互平行布置的条形电极，每根条形电极的一端连接一个压焊块；下拉电极、拉动电极、衬底接触电极阵列均连接在衬底上，衬底接触电极阵列和下拉电极位于横梁同一侧下方；拉动电极位于横梁另一侧下方。该测量结构解决了一般条形电极所存在的表面高低起伏的问题，并且获得的可动粱接触粘附信息准确。同时，本发明还公开了该测量结构的测量方法，该测量方法简单易行。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 中可动粱 接触 粘附 测量 结构 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
一种微机械系统中可动粱接触粘附的测量结构，其特征在于：所述的测量结构包括衬底（1）、十字梁（2）、用于静电激励的下拉电极（3）、用于粘附分离的拉动电极（4）和衬底接触电极阵列（5）；十字梁（2）由横梁（21）和与横梁（21）垂直交叉连接的扭转支撑梁（22）组成，扭转支撑梁（22）通过锚区（23、24）连接在衬底（1）上；所述的衬底接触电极阵列（5）采用离子注入的掺杂方式形成在衬底（1）的顶面，衬底接触电极阵列（5）包括至少三根相互平行布置的条形电极，相邻条形电极之间留有间隙，每根条形电极的一端连接一个压焊块；下拉电极（3）、拉动电极（4）、衬底接触电极阵列（5）均连接在衬底（1）上，衬底接触电极阵列（5）和下拉电极（3）位于横梁（21）同一侧下方，且衬底接触电极阵列（5）位于横梁（21）端部的下方；拉动电极（4）位于横梁（21）另一侧下方。
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