[发明专利]一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置

摘要

一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，包括引弧针、活塞延伸杆、活塞组件、密封绝缘件、动密封、动密封压垫、活塞组件支撑件，所述动密封压垫被所述活塞组件支撑件压紧在所述动密封上，还包括金属的引弧器底座，所述引弧器底座通过其中部套孔套装在所述活塞延伸杆上并与电弧蒸发源连接法兰固定连接，所述密封绝缘件夹装在所述引弧器底座与电弧蒸发源连接法兰之间，所述引弧器底座后端底面上具有伸入所述密封绝缘件与所述活塞延伸杆之间、用于隔开它们的凸起，所述活塞组件支撑件固定在所述引弧器底座的前端面上，所述动密封嵌装在所述引弧器底座的前端面内。本发明能减少不良品率，降低生产成本。

主权项

一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，包括引弧针、活塞延伸杆、活塞组件、密封绝缘件、动密封、动密封压垫、活塞组件支撑件；所述密封绝缘件为一具有外翻边的绝缘套筒，所述绝缘套筒的外径与电弧蒸发源连接法兰上开孔孔径相适配,所述绝缘套筒伸入所述电弧蒸发源连接法兰上开孔的内侧；其特征在于，还包括金属的引弧器底座，所述引弧器底座通过其中部套孔套装在所述活塞延伸杆上并与电弧蒸发源连接法兰固定连接，所述密封绝缘件的外翻边夹装在所述引弧器底座与电弧蒸发源连接法兰之间，所述引弧器底座后端底面上具有伸入所述绝缘套筒与所述活塞延伸杆之间、用于隔开它们的凸起，所述活塞组件支撑件固定在所述引弧器底座的前端面上，所述动密封嵌装在所述引弧器底座的前端面内，所述动密封压垫被所述活塞组件支撑件压紧在所述动密封上。