[发明专利]一种P型半导体、P型掺杂剂的制备方法有效
申请号: | 201210496144.1 | 申请日: | 2012-11-28 |
公开(公告)号: | CN102925964A | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 潘家明;何广川 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | C30B15/04 | 分类号: | C30B15/04;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵青朵;李玉秋 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明提供了一种P型半导体的制备方法,该方法将不合格N型硅片与硅料掺杂进行铸锭,得到P型半导体,所述不合格N型硅片为N型硅片硼扩散后的不合格硅片。与现有技术制备硼硅母合金作为P型掺杂剂相比,首先,本发明使用硼扩散后的不合格N型硅片与硅料直接掺杂进行铸锭,避免了硼硅母合金的高成本单晶炉拉制过程,降低了成本;其次,使不合格的N型硅片得到再利用,其成本与单质硼相比,也较低;再次,此制备过程较简单,操作方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 掺杂 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种P型半导体的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:将不合格N型硅片与硅料掺杂进行铸锭,得到P型半导体;所述不合格N型硅片为N型硅片硼扩散后的不合格硅片。
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