[发明专利]银膜电阻型原子氧传感器、原子氧检测仪及其应用方法

摘要

本发明公开了一种银膜电阻型原子氧传感器、原子氧检测仪及其应用方法。该银膜电阻型原子氧传感器包括氧化铝陶瓷基底，氧化铝陶瓷基底上布设有银膜电阻线，银膜电阻线的线条呈“之”字形布设于氧化铝陶瓷基底上，银膜电阻线的两端分别设有金属电极。该原子氧检测仪包括精密电压参考源、精密电阻、上述的原子氧传感器、仪用放大器以及单片机，其中，仪用放大器将原子氧传感器的两端的电压信号放大后传输给单片机；单片机用于根据采样电压的值实时计算原子氧传感器的电阻值。本发明通过银膜电阻线阻值的变化，即可推导计算出空间的原子氧的通量，实时性好、成本低廉且测量精度高。

主权项

一种银膜电阻型原子氧传感器，其特征在于，包括氧化铝陶瓷基底，所述氧化铝陶瓷基底上布设有银膜电阻线，所述银膜电阻线的线条呈之字形布设于所述氧化铝陶瓷基底上，所述银膜电阻线的两端分别设有金属电极。