[发明专利]手动光刻机对准工作台Z向粗微动机构

摘要

一种手动光刻机对准工作台Z向粗微动机构，涉及接近接触式手动光刻机设备技术领域。由差动螺纹机构、棘轮磨擦力调整机构、摩擦式棘轮机构、粗动锁紧机构、微动限位装置和粗动限位装置以及结构架组成。通过大导程的多头螺纹实现Z向粗动，又通过安装在粗动上的细牙螺纹实现Z向微动的微分离，为了提高Z向微动时微分力量的准确性，采用锁紧气缸带动制动片锁紧Z向粗动，采用摩擦式棘轮机构传递找平力，改变压簧对棘爪的作用力，实现微力找平和找平调整。发明效果显著,能够实现接近接触式手动光刻机快速Z向粗动、微动，本发明找平力小，且找平力可调，同时，结构简单，性能稳定可靠，使用和维修方便。实际使用效果好。应用范围广。

主权项

一种手动光刻机对准工作台Z向粗微动机构，其特征在于：所述手动光刻机对准工作台Z向粗微动机构由差动螺纹机构、棘轮磨擦力调整机构、摩擦式棘轮机构、粗动锁紧机构、微动限位装置和粗动限位装置以及结构架（1）组成；所述差动螺纹机构由结构架（1）上固接一个大丝杠母（5），所述大丝杠母（5）螺纹连接大丝杠（4），所述大丝杠（4）外观呈上部为大圆柱体下部为小圆柱体的T字形，所述大丝杠（4）轴心设有中心装配孔，装配孔上部呈阶梯状，所述装配孔阶梯状处固定一个小丝杠母（8），所述小丝杠母（8）螺纹连接小丝杠（7），装配孔下部置有一个顶柱（2），所述小丝杠（7）与所述顶柱（2）之间设有一个传动钢球（6），所述大丝杠（4）的顶端面上设有一个粗调棘轮（9），所述粗调棘轮（9）下面设有环状的弧面棘齿，所述粗调棘轮（9）有间隙地通过其轴孔套接在所述小丝杠母（8）上部的外径上，粗调棘轮（9）设有的凹槽底上置有一个套接在小丝杠母（8）上的环形压板（10），所述环形压板（10）通过螺钉固定在所述大丝杠（4）的上端面上，所述粗调棘轮（9）通过所述螺钉的连接有间隙的处在环形压板（10）与粗调棘轮（9）上表面之间，所述小丝杠（7）通过其上设置的圆锥台与微调手轮（11）设置的圆锥孔连接，并且微调手轮（11）通过固定螺母（13）固定在所述小丝杠（7）上构成；所述棘轮磨擦力调整机构由大丝杠（4）上部的大圆柱体内对称设有两个通孔，顶端面上设有一个环形槽，所述两个通孔的上端口处在所述环形槽内，所述大圆柱体下端环形面固定一个环形挡板（20），所述环形挡板（20）上设有两个螺纹孔，所述环形挡板（20）上的两个螺纹孔与大圆柱体的两个通孔分别同轴心，所述环形挡板（20）上的两个螺纹孔上各自螺纹连接一个调整螺杆（18），处在通孔内部的所述调整螺杆（18）的顶端贴合连接导向柱（21），导向柱（21）上端套接压簧（22），压簧（22）上端套接棘爪（23）的下部，棘爪（23）的齿部处在通孔外部的环形槽中，所述粗调棘轮（9）的棘齿倒置在所述环形槽内构成；所述摩擦式棘轮机构由所述粗调棘轮（9）的棘齿与所述棘爪（23）的齿贴合连接构成；所述粗动锁紧装置由结构架（1）固接气缸支架（17），所述气缸支架（17）上固定一个气缸（16），所述气缸（16）的活塞头部安装制动片（15），所述制动片（15）左移与所述大丝杠（4）外圆表面成压紧贴合的制动状态构成；所述微动限位装置由所述微调手轮（11）底面设有圆形凹槽，处在圆形凹槽中的所述小丝杠（7）上固接一个限位销（12）形成。