[发明专利]一种高精度高次非球面透镜偏心测定系统及方法

摘要

本发明提供一种高精度高次非球面透镜偏心测定系统及方法，包括相移干涉仪、干涉仪调整架、被测非球面透镜、透镜支架、透镜调整架、对心器、精密旋转轴系、对心器调整架、直线导轨及计算机系统，被测非球面透镜固定在透镜支架上，支架固定在透镜调整架上，透镜调整架放置在直线导轨上；对心器固定在精密旋转轴系上，精密旋转轴系安装在对心器调整架上并放置在直线导轨上；相移干涉仪放置在干涉仪调整架上并固定在直线导轨中间，用干涉仪测得被测非球面透镜上非球面的面形数据，从面形数据中提取出多个同心圆形环带上的数据，根据各环带面形数据的最大、最小值以及相应的相位信息计算出该非球面的顶点位置，进而可以算出该非球面透镜的偏心大小。

主权项

一种高精度高次非球面透镜偏心测定系统，其特征在于：该测定系统包括相移干涉仪（1）、干涉仪调整架（2）、被测非球面透镜（3）、透镜支架（4）、透镜调整架（5）、对心器（6）、精密旋转轴系（7）、对心器调整架（8）、两个直线导轨（9、10）、以及计算机系统（11），其中计算机系统（11）与相移干涉仪（1）和对心器（6）相连，相移干涉仪（1）放置干涉仪调整架（2）上并固定在两个直线导轨（9、10）的中间，对心器（6）安装在精密旋转轴系（7）上，精密旋转轴系（7）固定在对心器调整架（8）上，对心器调整架（8）放置在两个直线导轨（9、10）上并可自由滑动，先通过对心器（5）观察相移干涉仪第一片透镜的球心像，并通过调节干涉仪调整架（2）和对心器调整架（8）使相移干涉仪（1）的光轴与对心器（6）的光轴同轴并平行于两个直线导轨，然后将被测非球面透镜（3）安装在透镜支架（4）上、透镜支架（4）固定在透镜调整架（5）上，将透镜调整架（5）放置在两个直线导轨（9、10）上并可自由滑动，在保证相移干涉仪（1）和对心器（6）的光轴不动的情况下，通过对心器（6）观察被测非球面透镜（3）的两光学面近轴球心像，并通过调节透镜调整架（5）使被测非球面透镜（3）的两光学面近轴球心像均在对对心器（6）的光轴上，最后利用相移干涉仪（1）测量被测非球面透镜（3）的非球面面形数据，由安装在计算机系统（11）上的数据处理软件对所测得的数据进行处理，得到被测非球面透镜（3）的偏心信息。