[发明专利]偏振分光镜热畸变的测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 201210466875.1 | 申请日： | 2012-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN102967445A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 刘丽娜;安振杰 | 申请（专利权）人： | 核工业理化工程研究院 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 天津市宗欣专利商标代理有限公司 12103 | 代理人： | 胡恩河 |
| 地址： | 300180 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种偏振分光镜热畸变的测量装置及测量方法，包括固体激光器、聚焦透镜、能量光纤、光纤整形镜片组、分光棱镜、透射平面镜、偏振分光镜、零度滤色片、衰减滤光片、斐索干涉仪和计算机；固体激光器发出的激光经聚焦透镜耦合到能量光纤，由能量光纤的传输进入测量室，再经光纤整形镜片组、分光棱镜，以θ角照射到偏振分光镜表面；斐索干涉仪发出的光经衰减滤光片、零度滤色片垂直照射到偏振分光镜；本发明偏振分光镜热畸变的测量装置具有结构简单，稳定性好和抗干扰能力强的特点，能够在非接触的条件下对激光照射下光学薄膜元件的波前畸变进行测量，并且在连续、单脉冲或重复脉冲激光照射的时候都能进行测量。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 分光镜 畸变 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种偏振分光镜热畸变的测量装置，其特征在于：包括固体激光器、聚焦透镜、能量光纤、光纤整形镜片组、分光棱镜、透射平面镜、偏振分光镜、零度滤色片、衰减滤光片、斐索干涉仪以及与斐索干涉仪相连的计算机；固体激光器发出的激光经聚焦透镜耦合到能量光纤，再经光纤整形镜片组、分光棱镜，以θ角照射到偏振分光镜表面中心位置；斐索干涉仪发出的He‑Ne光经衰减滤光片、零度滤色片垂直照射到偏振分光镜受激光照射区域，并可通过偏振分光镜到达透射平面镜，其中0<θ<90°。
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