[发明专利]一种负性光刻胶显影液及其应用无效
| 申请号： | 201210461049.8 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102929109A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 谭智敏;徐雅玲;黄源;严兵华 | 申请（专利权）人： | 杭州格林达化学有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/30 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 周烽 |
| 地址： | 311228 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种负性光刻胶显影液及其应用，显影液组分为由碱性物质和阴离子表面活性剂构成的水溶液。其中的碱性物质为不含金属离子的有机季铵化合物，如TMAH（四甲基氢氧化铵）、TMAC(四甲基铵碳酸（氢）盐)等一种或几种；阴离子表面活性剂可为醇醚羧酸盐，醇醚磺酸盐，酚醚硫酸酯盐，和醇醚磷酸盐等。该显影液金属离子含量低，成本低，药液使用寿命长，适用于TFT-LCD行业中彩膜负性光刻胶的显影，特别是高分辨率显示屏及COA等新技术的制程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 显影液 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种负性光刻胶显影液，其特征在于，它是由有机碱和阴离子表面活性剂组成的水溶液；其中，有机碱的质量浓度为0.01~60%，阴离子表面活性剂质量浓度为0.01~30%；有机碱由TMAH（四甲基氢氧化铵）、TEAH（四乙基氢氧化铵）和TMAC（四甲基铵碳酸（氢）盐）的一种或是任意两种混合而成；阴离子表面活性剂由醇醚羧酸盐、醇醚磺酸盐、酚醚硫酸酯盐和醇醚磷酸盐的一种或几种组成。
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