[发明专利]一种基于数字散斑相关法的激光位移测量方法无效
申请号: | 201210447154.6 | 申请日: | 2012-11-10 |
公开(公告)号: | CN102967261A | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 李顶根;沈磊;朱鸿茂;褚俊;罗锋;刘明勇 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 李智 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于数字散斑相关法的新型激光位移测量方法,具体为:激光经聚焦垂直入射移动中的被测物体表面;接收被测物体表面入射光点处的散射光,并通过成像透镜成像在CCD的敏感面上得到散射光斑;当散射光斑的信号带宽小于等于带宽阀值时,则表明被测物体表面为弱散射界面,采用平均加权重心法测量散射光斑在CCD上的位移;当散射光斑的信号带宽大于带宽阀值时,则表明被测物体表面为强散射截面,采用相关法测量散射光斑在CCD上的位移;根据散射光斑在CCD上的位移计算被测物体的位移。本发明实现对各种粗糙度物面位移的精确测量,具有测量快速性和精确性。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 数字 相关 激光 位移 测量方法 | ||
【主权项】:
一种基于数字散斑相关法的激光位移测量方法,具体为:步骤1激光经聚焦垂直入射移动中的被测物体表面;步骤2接收被测物体表面入射光点处的散射光,并通过成像透镜成像在CCD的敏感面上得到散射光斑;步骤3当散射光斑的信号带宽小于等于带宽阀值F时,则表明被测物体表面为弱散射界面,采用平均加权重心法测量散射光斑在CCD上的位移δ;当散射光斑的信号带宽大于带宽阀值F时,则表明被测物体表面为强散射截面,采用相关法测量散射光斑在CCD上的位移δ;步骤4根据散射光斑在CCD上的位移δ计算被测物体的位移Δ。
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