[发明专利]带电粒子能量滤波器无效
| 申请号： | 201210442536.X | 申请日： | 2012-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103094053A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | N.W.帕克;W.休斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J49/46 | 分类号： | H01J49/46;H01J37/147 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 俞华梁;王忠忠 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 多元件静电西肯能量滤波器，其中向双极元件添加静电四极和六极激励。按照本发明的具有能够产生孔口处的线焦点的双极、四极和六极元件的组合的带电粒子能量滤波器降低空间电荷效应和孔口损坏。一个优选实施例允许滤波器充当共轭消隐系统。能量滤波器能够使能量扩展变窄，以便产生较小射束。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 能量 滤波器 | ||
【主权项】：
一种用于带电粒子束系统的能量滤波器，包括：用于传递经过所述能量滤波器的带电粒子束的入口和出口，所述带电粒子束沿轴定向到所述能量滤波器中； 串行定位的至少四个偏转器，用于聚焦和偏转经过所述能量滤波器的带电粒子；定位在两个所述偏转器之间的孔口； 其中施加到偏转器系列的双极激励能够用于将带电粒子束偏转到轴外并且然后偏转回轴上；以及四极激励能够用于将所述带电粒子束形成为所述孔口处的线焦点。
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