[发明专利]在线等离子清洗法

摘要

一种在线等离子清洗方法，包括以下步骤：在上料区将待清洗工件从料盒内取出并传送至载物平台上，对应放入载物平台上间隔布置的工件放置槽内；将装载有待清洗工件的载物平台移动至清洗区并送入等离子清洗仓内，关闭等离子清洗仓的密封门；使等离子清洗仓内形成真空环境，然后向等离子清洗仓体内充入气体，电极通电，开始清洗；清洗完毕后，打开等离子清洗仓的密封门，载物平台移出等离子清洗仓并从清洗区移动至下料区；将载物平台上的工件重新装回料盒中。本发明方法在清洗之前将待清洗工件从料盒中取出并放置在载物台上，使待清洗工件表面不被阻挡，可对工件的表面进行全面清洗，从而有效消除芯片键合区及框架表面污染及氧化物。

主权项

一种在线等离子清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、在上料区将待清洗工件从料盒内取出并传送至载物平台上，对应放入载物平台上间隔布置的工件放置槽内；步骤二、将装载有待清洗工件的载物平台移动至清洗区并送入等离子清洗仓内，关闭等离子清洗仓的密封门；步骤三、使等离子清洗仓内形成真空环境，然后向等离子清洗仓体内充入气体，电极通电，开始清洗；步骤四、清洗完毕后，打开等离子清洗仓的密封门，载物平台移出等离子清洗仓并从清洗区移动至下料区；步骤五、将载物平台上的工件重新装回料盒中。