[发明专利]一种显微影像检测仪器及其自动调焦方法

摘要

本申请公布了一种显微影像检测仪器及其自动调焦方法，该显微影像检测仪器包括显微镜、摄像装置、驱动装置、与被测物具有预定相对位置的标记图案，所述标记图案可被置于检测区域和控制装置，显微镜包括用于承载被测物的载物台和用于放大被测物的物镜摄像装置设置在显微镜物镜的上方，可控的拍摄被测物经物镜放大后的图像，并输出图像数据给控制装置；驱动装置能够驱动载物台和物镜中的至少一者移动到预定位置；控制装置用于对外部或内部数据进行处理和生成控制信息，分别耦合到摄像装置和驱动装置。本申请的显微影像检测仪器在保证被测物的拍照图像清晰度的同时实现自动调焦。

主权项

一种显微影像检测仪器,其特征在于，包括：显微镜，所述显微镜包括用于承载被测物的载物台和用于放大被测物的物镜；摄像装置，设置在物镜上方，用于可控的拍摄经物镜放大后的图像，并输出图像数据；驱动装置，用于驱动载物台和物镜中的至少一者移动到预定位置；与被测物具有预定相对位置的标记图案，所述标记图案可被置于检测区域；用于对外部或内部数据进行处理和生成控制信息的控制装置，所述控制装置分别耦合到所述摄像装置和驱动装置，所述控制装置接收检测命令，获取初始目标位置信息，根据所述初始目标位置信息控制显微镜的载物台和物镜中的至少一者在垂直与所述标记图案的方向上移动到初始目标位置，在移动过程中控制所述摄像装置对位于检测区域内的标记图案拍摄照片，所述控制装置接收摄像装置输出的图像数据，通过清晰度分析软件计算拍摄照片的清晰度，将拍摄照片的清晰度和预存的清晰度标定曲线进行比对，得到补偿值，根据所述补偿值和标记图案至被测物之间的距离差的和，计算用于确定被测物实际焦距的目标位置信息；所述清晰度是在摄像装置分辨率不变的情况下，表示拍摄照片上图案轮廓清晰性的参数；所述清晰度标定曲线为通过预先获取的标记图案照片的清晰度及其对应位置信息生成的曲线。