[发明专利]一种静电力调变齿间隙的微机电梳齿机构

摘要

本发明公开了一种静电力调变齿间隙的微机电梳齿机构，包括静电驱动齿、由左移定齿和右移定齿组成的定齿、动齿、第一锚区和绝缘衬底，第一锚区固定连接在绝缘衬底上；左移定齿包括第一宽梁、左移梳齿、四个沿横向弯折的第一折叠梁；右移定齿包括第二宽梁、右移梳齿、四个沿横向弯折的第二折叠梁；静电驱动齿包括梳齿和第三锚区，右移梳齿、梳齿和左移梳齿依次交替布置；动齿包括质量块、动齿梳齿、第二锚区和沿纵向弯曲的第三折叠梁，且右移梳齿、动齿梳齿和左移梳齿依次交替布置，第一宽梁上设有左移止挡块，第二宽梁上设有右移止挡块。该微机电梳齿机构在静电力的驱动下，调变齿间隙，使得微机电振动所产生的信号强。

主权项

一种静电力调变齿间隙的微机电梳齿机构，其特征在于：该微机电梳齿机构包括静电驱动齿、由左移定齿（103）和右移定齿（104）组成的定齿、动齿、四个第一锚区（112）和绝缘衬底（100），四个第一锚区（112）分别固定连接在绝缘衬底（100）上；所述的左移定齿（103）包括第一宽梁（107）、左移梳齿（108）、四个沿横向弯折的第一折叠梁（111），左移梳齿（108）固定在第一宽梁（107）的两侧，第一宽梁（107）两端的两侧分别通过一个第一折叠梁（111）连接在一个第一锚区（112）上；左移定齿（103）处于悬空状态；所述的右移定齿（104）包括第二宽梁（109）、右移梳齿（110）、四个沿横向弯折的第二折叠梁（113），右移梳齿（110）固定在第二宽梁（109）的两侧，第二宽梁（109）两端的两侧分别通过一个第二折叠梁（113）连接在一个第一锚区（112）上；右移定齿（104）处于悬空状态；所述的静电驱动齿包括梳齿（101）和第三锚区（102），第三锚区（102）固定连接在绝缘衬底（100）上，梳齿（101）固定在第三锚区（102）的一侧，且右移梳齿（110）、梳齿（101）和左移梳齿（108）依次交替布置；梳齿（101）处于悬空状态；所述的动齿包括质量块（105）、动齿梳齿（106）、两个第二锚区（115）和两个沿纵向弯曲的第三折叠梁（114），两个第二锚区（115）固定连接在绝缘衬底（100）上，每个第二锚区（115）与一个第三折叠梁（114）的一端连接，第三折叠梁（114）的另一端与质量块（105）连接，动齿梳齿（106）设置在质量块（105）的一侧，且右移梳齿（110）、动齿梳齿（106）和左移梳齿（108）依次交替布置，相邻的右移梳齿（110）和动齿梳齿（106）之间的距离、相邻的动齿梳齿（106）和左移梳齿（108）之间的距离、相邻的右移梳齿（110）和梳齿（101）之间的距离、以及相邻的梳齿（101）和左移梳齿（108）之间的距离相等；质量块（105）、动齿梳齿（106）、和第三折叠梁（114）均处于悬空状态；所述的左移定齿（103）的第一宽梁（107）上设有左移止挡块（116），右移定齿（104）的第二宽梁（109）上设有右移止挡块（117），左移止挡块（116）和右移止挡块（117）相对设置，且左移止挡块（116）和右移止挡块（117）之 间的距离小于相邻的右移梳齿（110）和动齿梳齿（106）之间设计距离的两倍。