[发明专利]检测器、压印装置以及物品制造方法

摘要

一种检测器、压印装置以及物品制造方法，该检测器用于检测由形成在第一和第二物体上的标记衍射的衍射光分量的干涉光，该检测器包括：照明光学系统，被配置为形成包括第一极和第二极的强度分布，第一极和第二极对布置在第一物体上的第一标记和布置在第二物体上的第二标记进行照明；以及检测光学系统，被配置为检测由被照明光学系统照明的第一标记和第二标记衍射的光分量的干涉光。检测光学系统检测当第一极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量的干涉光。检测光学系统不检测当第二极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量。

主权项

一种用于检测第一物体和第二物体在x方向和y方向上的相对位置的检测器，该检测器包括：照明光学系统，被配置为对布置在第一物体上的第一标记和布置在第二物体上的第二标记进行照明；以及检测光学系统，被配置为检测由被所述照明光学系统照明的第一标记和第二标记衍射的衍射光分量的干涉光，其中，第一标记和第二标记中的一个包括在y方向上具有格栅间距P1并在x方向上具有格栅间距P2的格栅图案，第一标记和第二标记中的另一个包括在x方向上具有格栅间距P3的格栅图案，所述照明光学系统在其光瞳面中形成包括y方向上的第一极和x方向上的第二极的光强度分布，并且在从第一极照明的光被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量入射到所述检测光学系统在光瞳面中的孔径上，并且在从第二极照明的光被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量入射到与所述检测光学系统在光瞳面中的孔径不同的位置上。