[发明专利]一种射频阻抗自动匹配装置及方法

摘要

本发明公开了一种射频阻抗自动匹配装置及方法，属于微电子技术领域。所述装置包括：第一及第二真空电容检测机构、第一及第二信号变送器、功率计和单片机。第一、第二真空电容检测机构的输出端分别与第一信号变送器电连接，功率计与第二信号变送器电连接，单片机的输入端分别与第一信号变送器和第二信号变送器的输出端电连接，单片机的控制输出端分别与第一、第二真空电容检测机构的输入端电连接。本发明还提供了一种射频阻抗自动匹配方法。本发明可以使匹配过程自动、迅速，同时兼容人工手动操作，可以实现自动和人工手动操作达到匹配负载的目的。

主权项

一种射频阻抗自动匹配装置，其特征在于，包括第一真空电容检测机构、第二真空电容检测机构、第一信号变送器、第二信号变送器、功率计和单片机，所述第一、第二真空电容检测机构的输出端分别与第一信号变送器电连接，所述功率计与第二信号变送器电连接，所述单片机的输入端分别与所述第一信号变送器和第二信号变送器的输出端电连接，所述单片机的控制输出端分别与所述第一、第二真空电容检测机构的输入端电连接。