[发明专利]用于确定并校正显微镜成像光路中球差的装置和方法有效
| 申请号: | 201210390508.8 | 申请日: | 2012-10-15 |
| 公开(公告)号: | CN103048779A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
| 发明(设计)人: | W·奈彼尔;T·鲍尔;P·尤特诺伊尔 | 申请(专利权)人: | 徕卡显微系统复合显微镜有限公司 |
| 主分类号: | G02B21/24 | 分类号: | G02B21/24;G02B27/00 |
| 代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇;王博 |
| 地址: | 德国韦*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | 本发明涉及一种用于确定显微镜成像光路(7)的球差的方法,采用包含物镜(10)的显微镜(1)对样本(9)进行显微成像,承载或覆盖样本(9)的盖玻片(2)被布置成像光路中,测量光束(130)以偏心的方式在物镜(10)的光轴(8)之外被引导穿过物镜(10)到达样本(9)上,在盖玻片和样本(9)的界面(116)处反射的测量光束(132)被引导穿过物镜(10)到达探测器(128)上,探测器获取反射的测量光束(132)的光强分布,根据所述光强分布,定性和/或定量地确定球差的存在。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 确定 校正 显微镜 成像 光路中球差 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种用于确定显微镜成像光路(7)的球差的方法,其中采用包含物镜(10)的显微镜(1)对样本(9)进行显微成像,承载或覆盖样本(9)的盖玻片(2)被布置成像光路中,其中,测量光束(130)在物镜(10)的光轴(8)之外以偏心的方式被引导穿过物镜(10)到达样本(9)上,在盖玻片和样本(9)的界面(116)处反射的测量光束(132)被引导穿过物镜(10)到达探测器(128)上,该探测器(128)获取反射的测量光束(132)的光强分布,以及根据所述光强分布,定性和/或定量地确定球差的存在。
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