[发明专利]一种基于衍射光栅的光学读数头

摘要

一种基于衍射光栅的光学读数头属于微纳米测量技术，包括激光器、隔离器、偏振分光棱镜、反射镜、1/4波片、衍射光栅、光阑、四象限光电二极管传感器，其激光器发出线偏振激光光束经隔离器由偏振分光棱镜分为P偏振光和S偏振光，由反射镜分别将两路光反射到光栅表面进行两次衍射后，按原路返回至分光棱镜出射，经1/4波片被四象限光电二极管传感器接收，经放大转化电路处理后得到四路相差90°的正弦信号用于后续处理，得到被测物的位移信息；本读数头结构简单，调整方便，光路系统易于复现，利于系统的集成化和小型化，提高了系统的分辨力和稳定性。

主权项

一种基于衍射光栅的光学读数头，其特征在于在激光器(1)的直射光路上依次配置隔离器(2)和偏振分光棱镜(3)，在偏振分光棱镜(3)的呈相互垂直的透射光路和反射光路上分别配置反射镜A(4)和反射镜B(5)，且所述的偏振分光棱镜(3)的透射光路在反射镜A(4)上的交点与偏振分光棱镜(3)的反射光路在反射镜B(5)上的交点相互对称；衍射光栅(6)配置在反射镜A(4)和反射镜B(5)的对称地反射光路上，在衍射光栅(6)的两路一级衍射光路上配置光阑(7)、1/4波片A(8)和反射镜C(9)，所述的衍射光栅(6)位于两路一级衍射光路经反射镜C(9)按一级衍射光原路反射回的入射点位置上；在偏振分光棱镜(3)位于反射镜B(5)相对一侧部位上且与偏振分光棱镜(3)反射光路同轴线位置处配置1/4波片B(10)和四象限光电二极管传感器(11)。