[发明专利]流量控制装置以及处理装置有效
| 申请号： | 201210384397.X | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN103049008A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 冈部庸之;守谷修司;松野一成 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李伟;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种流量控制装置以及处理装置。在控制流向气体通路的气体流量的流量控制装置中，具备：主气体管；检测流向该主气体管的气体的流量，输出流量信号的流量检测单元；控制流量的流量控制阀机构；存储用于表示从外部输入的流量指示信号与目标流量的关系的、与多个气体种类对应的多个换算数据的换算数据存储部；基于从外部输入的气体种类选择信号，从多个换算数据中选择对应的换算数据，并且基于流量指示信号求出上述目标流量，并基于目标流量与流量信号控制流量控制阀机构的流量控制主体。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 控制 装置 以及 处理 | ||
【主权项】：
一种流量控制装置，其控制流向气体通路的气体流量，该流量控制装置的特征在于，具备：主气体管，其与所述气体通路连接；流量检测单元，其检测流向所述主气体管的气体的流量并输出流量信号；流量控制阀机构，其设置于所述主气体管，通过改变阀开度来控制流量；换算数据存储部，其存储用于表示从外部输入的流量指示信号与目标流量的关系的、与多个气体种类对应的多个换算数据；和流量控制主体，其基于从外部输入的气体种类选择信号，从所述多个换算数据中选择对应的换算数据，并且基于所述流量指示信号求出所述目标流量，基于该目标流量和所述流量信号，对所述流量控制阀机构进行控制。
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