[发明专利]一种新型太赫兹超宽通带滤波器的制造方法有效
| 申请号： | 201210384068.5 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN102868013A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 金飚兵;梁兰菊;贾小氢;吴培亨 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H01P11/00 | 分类号： | H01P11/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 夏雪 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型太赫兹超宽通带滤波器的制造方法，包括如下步骤：清洗基片；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜；在所述聚酰亚胺膜上涂覆光刻胶LOR并烘干；在所述光刻胶LOR上涂覆光刻胶AZ1500并烘干；对光刻胶进行曝光；对曝光后的光刻胶进行显影和烘干；在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发第一层金属；将蒸发第一层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜并进行固化；在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发第二层金属；将蒸发第二层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜并进行固化；去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。本发明实现频带的拓展。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 赫兹 超宽通带 滤波器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种新型太赫兹超宽通带滤波器的制造方法，包括如下步骤：(1)清洗基片；(2)在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜；(3)在所述聚酰亚胺膜上涂覆光刻胶LOR并烘干；(4)在所述光刻胶LOR上涂覆光刻胶AZ1500并烘干；(5)对光刻胶进行曝光；(6)对曝光后的光刻胶进行显影和烘干；(7)在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发第一层金属；(8)将蒸发第一层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离去除剩下的光刻胶AZ1500与所述光刻胶AZ1500上的第一层金属，然后用显影液去除剩余的光刻胶LOR；(9)在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜并进行固化；(10)重复步骤(3)至步骤(6)；(11)在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发第二层金属；(12)将蒸发第二层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离去除剩下的光刻胶AZ1500与所述光刻胶AZ1500上的第二层金属，然后用显影液去除剩余的光刻胶LOR；(13)在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜并进行固化；(14)去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。
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