[发明专利]光元件模块及其制造方法

摘要

本发明提供光元件模块及其制造方法。光元件模块（1）的制造方法构成为，光元件模块（1）在硅基板（2）的一个面上装载光元件（8）和半导体电路元件（9），在另一个面上形成大致倾斜45度的镜面（2a），与镜面相对的光纤（7）配置在沿另一个面形成的V槽中；该制造方法包括：相对于另一个面通过第1结晶各向异性蚀刻同时形成镜面（2a）和V槽的V状侧面的工序，通过与第1结晶各向异性蚀刻的结晶面方位不同的第2结晶各向异性蚀刻形成接触面（2b）的工序，接触面（2b）与一个面和另一个面大致垂直，形成在V槽前端侧而碰上光纤（7）前端。由此实现使光元件和光纤的光连接高功能化的光元件模块及其高效的制造方法。

主权项

一种光元件模块，其特征在于：具有：硅基板，在其表面和背面中的一个面上装载光元件和半导体电路元件，在另一个面上装载光纤；光元件和半导体电路元件，装载在所述一个面上，并经由凸起而连接于形成在该一个面上的金属线路；沿着所述另一个面而装载在该另一个面上的光纤；在所述硅基板的所述另一个面上形成有：相对于所述一个面及另一个面倾斜大致45度的镜面、用于将与所述镜面相面对的光纤沿所述另一个面定位配置的V槽、以及形成在V槽的前端侧而与所述光纤前端接触的与所述一个面和另一个面大致垂直的接触面。