[发明专利]一种掩模台工作台

摘要

一种掩模台工作台，属于超精密加工和检测设备技术领域。该掩模台工作台含有微动台、粗动台和机座；微动台包含微动台台体和洛伦兹电机；洛伦兹电机包含三种洛伦兹电机，每种洛伦兹电机对称分布在微动台台体沿X轴方向的两侧面；粗动台包含驱动模块和粗动台底座，每个驱动模块由粗动台台体、直线电机和气浮轴承组成。微动台台体和粗动台台体均采用碳化硅陶瓷材料构成。本发明既能满足大行程需要，又能实现高精度六自由度微调；采用碳化硅可加工陶瓷制造主要零部件，重量轻，并将多个零件一体化为一个部件，体积小，使得结构更加紧凑，既减少了微动台零部件数量，又提高了系统的模态、精度和频响。

主权项

一种掩模台工作台，含有微动台、粗动台和机座，微动台包含微动台台体（10）和洛伦兹电机；粗动台包含第一驱动模块、第二驱动模块和粗动台底座（7），第一驱动模块和第二驱动模块关于微动台台体呈对称布置；每个驱动模块由粗动台台体（8）、直线电机和气浮轴承组成，其特征在于：所述的洛伦兹电机包含三种洛伦兹电机，每种洛伦兹电机对称分布在微动台台体沿X轴方向的两侧面，其中，第一种洛伦兹电机的驱动方向沿X轴方向，关于Y轴对称布置，每侧至少两个，驱动微动台台体沿X方向和绕Z轴旋转方向运动；第二种洛伦兹电机的驱动方向沿Y轴方向并通过微动台质心，每侧至少一个，驱动微动台台体沿Y方向运动；第三种洛伦兹电机的驱动方向沿Z轴方向，关于Y轴对称布置，每侧两个，位于微动台台体的四个角上，驱动微动台台体沿Z方向、绕X轴旋转方向和Y轴旋转方向运动；所述的粗动台台体（8）的下表面和外侧面分别与粗动台底座（7）的上表面和内侧面之间形成气浮支撑，作为驱动模块的气浮导向；所述的直线电机（9）的动子部分连接在粗动台台体（8）内，直线电机（9）的定子部分固定在粗动台底座（7）的上表面，定子磁钢沿Z轴方向建立磁场，动子线圈水平放置，其长边沿Y方向布置，动子线圈沿X方向在直线电机定子磁钢之间做切割磁力线运动。