[发明专利]热处理板判断值的设定方法

摘要

一种热处理板判断值的设定方法，包括：步骤S1：设置第一判断值；步骤S2：运行n₁片虚拟晶圆，并触发所述温控检测系统报警，进而获得所述正常状态下的温度积分值；所述正常状态下的不同温度积分值的平均值记为所述正常状态下的不同温度积分值的标准差记为δ₁；步骤S3：设置第二判断值；步骤S4：运行n₂片虚拟晶圆，并触发所述温控检测系统报警，进而获得所述非正常状态下的温度积分值；所述正常状态下的不同温度积分值的平均值记为将所述正常状态下的不同温度积分值的标准差记为δ₂；步骤S5：计算所述热处理板判断值，本发明所述热处理板判断值的设定方法进行判断值的设定不仅操作简便，节约工时，同时计算精度高，误差小，极易推广使用。

主权项

1.一种热处理板判断值的设定方法，包括：执行步骤S1：设置第一判断值，所述第一判断值高于所述正常状态下的温度积分值；执行步骤S2：运行n₁片虚拟晶圆，并触发所述温控检测系统报警，进而获得所述正常状态下的温度积分值；所述n₁为自然数，所述正常状态下的不同温度积分值的平均值为所述正常状态下的不同温度积分值的标准差为δ₁；执行步骤S3：设置第二判断值，所述第二判断值高于所述非正常状态下的温度积分值；执行步骤S4：运行n₂片虚拟晶圆，并触发所述温控检测系统报警，进而获得所述非正常状态下的温度积分值；所述n₂为自然数，所述正常状态下的不同温度积分值的平均值为将所述正常状态下的不同温度积分值的标准差为δ₂；执行步骤S5：计算所述热处理板判断值；所述热处理板判断值的实部r的计算方法如下，r=(n1‾-4.5×δ1)+12[n2‾+4.5×δ2].]]>