[发明专利]蒸发装置及应用该蒸发装置的真空蒸镀机在审

专利信息
申请号: 201210339847.3 申请日: 2012-09-14
公开(公告)号: CN103668077A 公开(公告)日: 2014-03-26
发明(设计)人: 曹达华;李彬 申请(专利权)人: 深圳富泰宏精密工业有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518109 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种蒸发装置,包括一蒸发舟、导气装置及气源通道,该蒸发舟容置于该导气装置内且该蒸发舟与导气装置之间形成一气体容置空间;所述气源通道的一端与该导气装置连接,并与该气体容置空间连通,以向气体容置空间中通入气体;所述蒸发舟包括一第一底壁、由该第一底壁的周缘延伸形成的侧壁及由该第一底壁与该侧壁围成的容置槽,该侧壁上开设有若干通气孔,所述通气孔与该气体容置空间相连通。本发明还提供了应用该蒸发装置的电子装置。
搜索关键词: 蒸发 装置 应用 真空 蒸镀机
【主权项】:
一种蒸发装置,包括一蒸发舟,其特征在于:该蒸发装置还包括导气装置及气源通道,该蒸发舟容置于该导气装置内且该蒸发舟与导气装置之间形成一气体容置空间;所述气源通道的一端与该导气装置连接,并与该气体容置空间连通,以向气体容置空间中通入气体;所述蒸发舟包括一第一底壁、由该第一底壁的周缘延伸形成的侧壁及由该第一底壁与该侧壁围成的容置槽,该侧壁上开设有若干通气孔,所述通气孔与该气体容置空间相连通。
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