[发明专利]一种基于耦合窗辐射的大体积微波等离子体发生装置

摘要

本发明涉及一种基于耦合窗辐射的大体积微波等离子体发生装置，属于微波应用技术领域。该发生装置包括包括矩形波导、电感式耦合窗、谐振腔外壳、矩形石英玻璃框、短路活塞、吸收物质和手柄。矩形波导通过电感式耦合窗与谐振腔的一端连通，谐振腔外壳上设有气压测量口、工作气体进气口和工作气体出气口。矩形石英玻璃框置于谐振腔内，其两端部镶嵌在谐振腔的侧壁上，与两侧的谐振腔侧壁形成封闭空间。短路活塞置于谐振腔的另一端，短路活塞与谐振腔外壳成滑动配合。吸收物质固定在短路活塞的前端部，手柄固定在短路活塞的后端部。本装置能够在常温常压下产生大体积的微波等离子体，高效率地制备纳米材料和处理废气尾气。

主权项

一种基于耦合窗辐射的大体积微波等离子体发生装置，其特征在于该等离子体发生装置包括矩形波导、电感式耦合窗、谐振腔外壳、矩形石英玻璃框、短路活塞、吸收物质和手柄；所述的矩形波导通过电感式耦合窗与谐振腔的一端连通，谐振腔外壳上设有气压测量口、工作气体进气口和工作气体出气口；所述的矩形石英玻璃框置于谐振腔内，矩形石英玻璃框的两端部镶嵌在谐振腔的侧壁上，矩形石英玻璃框与两侧的谐振腔侧壁形成封闭空间；所述的短路活塞置于谐振腔的另一端，短路活塞与谐振腔外壳成滑动配合；所述的吸收物质固定在短路活塞的前端部，并位于谐振腔内，所述的手柄固定在短路活塞的后端部，并位于谐振腔外。