[发明专利]激光器发散角及光斑形状测量装置有效

专利信息
申请号: 201210336655.7 申请日: 2012-09-12
公开(公告)号: CN103674488A 公开(公告)日: 2014-03-26
发明(设计)人: 沙鹏飞;宋兴亮;赵江山;李慧;彭卓君;鲍洋;周翊;王宇 申请(专利权)人: 中国科学院光电研究院
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 宋焰琴
地址: 100094*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种激光器参数测量装置,所述测量装置中使用多个45°全反镜在二维方向上展开光路,缩短测量装置中光路两端间的直线距离,使测量装置更紧凑,测量数据更准确,并且通过使用多个45°全反镜可以同时测量激光器的任意参数,具有实时性,同时可大量节约测试时间。
搜索关键词: 激光器 发散 光斑 形状 测量 装置
【主权项】:
一种激光器参数测量装置,包括:激光器(1)、聚焦透镜(3)、光束质量分析仪(4),其特征在于,该测量装置还包括:第一分光镜(6)、功率计(7)、4个45°全反镜(5)、第二分光镜(10)、第三分光镜(11)、波长计(12)和光电探测器(8),通过使用所述4个45°全反镜(5)将光路在二维方向上展开,使得激光经过聚焦透镜(3)到达光束质量分析仪(4)的传播距离为聚焦透镜(3)的焦距长度。
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