[发明专利]一种光机电振动角速率传感器有效
| 申请号： | 201210336635.X | 申请日： | 2012-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN102854331A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 刘宇;路永乐;肖力敏;欧毅;黎蕾蕾;吴英;刘申;潘英俊 | 申请（专利权）人： | 重庆邮电大学 |
| 主分类号： | G01P3/36 | 分类号： | G01P3/36;G01H9/00 |
| 代理公司： | 重庆市恒信知识产权代理有限公司 50102 | 代理人： | 刘小红 |
| 地址： | 400065 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光机电振动角速率传感器，涉及传感器技术领域。该传感器振动系统由驱动臂，敏感臂以及位于交叉点处的质量块构成，光驱动系统通过悬浮于驱动臂上方的光纤组辐射光脉冲驱动振动臂振动，进而带动质量块摆动，最终产生沿驱动方向的线动量，光学检测系统采用相干检测技术，该传感器在输入轴方向有输入角速度时，由于哥氏力的作用将在敏感臂上产生相应的振动。该振动通过光学检测系统进行数据采集，进而转变为输入角速度。该传感器兼顾了MEMS陀螺仪小体积易集成和光学陀螺仪高精度的特点，同时还具有零位稳定性高，无轴间干扰，抗电磁干扰等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机电 振动 速率 传感器 | ||
【主权项】：
光机电振动角速率传感器，其特征在于：该传感器包括振动系统、光驱动系统、光检测系统，由驱动臂和敏感臂以及位于其交叉点处的质量块组成振动系统，该振动系统通过驱动臂和敏感臂与外部支持结构体衔接，驱动臂在全光驱动系统的作用下产生振动，进而带动质量块进行摆动，进而产生线动量，当角速率传感器在输入轴向方向上有输入角速度时，质量块将在敏感臂产生振动，光学检测系统检测该振动。
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