[发明专利]大规模集成互连电迁移失效测试方法无效
| 申请号： | 201210332319.5 | 申请日： | 2012-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN102830338A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 吴振宇;杨银堂;陈雪薇 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华;朱红星 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大规模集成互连电迁移失效快速自动测试方法，主要解决现有技术的测试成本高、测试规模小的问题。其实现方案是：利用反熔丝在编程前后电阻发生巨大变化这一特性，在集成互连线的焊盘上通过平面集成工艺制作反熔丝，形成互连和反熔丝并联的结构，将大量的该互连-反熔丝单元结构串联起来即形成大规模集成互连多链接结构，在该多链接结构两端分别连接测试电流源和电压表进行电迁移失效测试，并记录多链接结构两端的电压下降跳变点时间，作为互连的失效时间。本发明具有测试成本低、测试效率高的优点，可用于大规模集成互连电迁移失效的测试。 | ||
| 搜索关键词： | 大规模 集成 互连 迁移 失效 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种大规模集成互连电迁移失效测试方法，包括如下步骤：（1）通过平面工艺在集成互连线的焊盘上制作反熔丝，使反熔丝与互连线并联连接，形成多个互连‑反熔丝单元结构；（2）将多个互连‑反熔丝单元结构首尾依次相连，形成大规模集成互连多链接结构；（3）将大规模集成互连多链接结构的首尾两端分别与测试电流源和电压表的同极性端相连，测试该多链接结构两端的电压‑时间曲线；（4）记录多链接结构两端电压下降跳变点的时间，作为整个大规模集成互连的电迁移失效时间。
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