[发明专利]扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪有效
| 申请号： | 201210319723.9 | 申请日： | 2012-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN102788727A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 郇勇;代玉静;邵亚琪;彭光健;张泰华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | G01N3/00 | 分类号： | G01N3/00 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 王艺 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪，该力学性能测试仪包括：机架底座、音圈电机、加载轴、光栅尺、动夹具、定夹具、滑块和力传感器；音圈电机安装在所述机架底座的一端，其内部安装有用来测量所述加载轴位移的光栅尺；加载轴由音圈电机内部的电磁线圈驱动运动，其一端位于音圈电机内部，另一端安装有动夹具；机架底座的另一端加工有滑槽，滑槽上固定有滑块；滑块离音圈电机的近端安装有力传感器，定夹具安装在力传感器上。本发明采用了音圈电机，避免了步进电机驱动方式所产生的振动，可以在试样加载状态下获得清晰的高放大倍率的扫描电镜图像，可进行原位拉伸、压缩、弯曲及疲劳力学性能测试。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜 多用途 原位 尺度 力学性能 测试仪 | ||
【主权项】：
一种扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪，其特征在于，包括：机架底座、音圈电机、加载轴、光栅尺、动夹具、定夹具、滑块和力传感器；所述音圈电机安装在所述机架底座的一端，其内部安装有用来测量所述加载轴位移的光栅尺；所述加载轴由音圈电机内部的电磁线圈驱动运动，其一端位于所述音圈电机内部，另一端安装有所述动夹具；所述机架底座的另一端加工有滑槽，所述滑槽上固定有所述滑块；所述滑块离音圈电机的近端安装有力传感器，所述定夹具安装在所述力传感器上，所述定夹具和动夹具之间用于安装试样。
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