[发明专利]相变随机存取存储器件及其制造方法在审
申请号: | 201210298827.6 | 申请日: | 2012-08-21 |
公开(公告)号: | CN103137863A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 朴南均 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;H01L27/24 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 石卓琼;俞波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了一种相变随机存取存储器件及其制造方法。所述相变随机存取存储器件包括:半导体衬底,形成在所述半导体衬底上的开关元件;形成在所述开关元件上的多个相变结构;以及掩埋在所述多个相变结构之间的吸热层,其中,所述多个相变结构与所述吸热层绝缘。 | ||
搜索关键词: | 相变 随机存取存储器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种相变随机存取存储器件,包括:半导体衬底;形成在所述半导体衬底上的开关元件;形成在所述开关元件上的多个相变结构;以及掩埋在所述多个相变结构之间的吸热层,其中,所述多个相变结构与所述吸热层绝缘。
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