[发明专利]合金法制备大面积石墨烯薄膜无效
| 申请号： | 201210282933.5 | 申请日： | 2012-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN102808149A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 许子寒 | 申请（专利权）人： | 许子寒 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/58;C01B31/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种利用碳原子在不同物质中的溶解度随着温度不同而不同的原理，使用合金薄膜在高温下快速退火的方式制备大面积石墨烯薄膜的方法。制备步骤包括：（1）在衬底上沉积碳合金薄膜；（2）高温退火生长石墨烯薄膜；（3）快速降温提高石墨烯薄膜结晶性能。本发明工艺简单易操作，适用于制备大面积石墨烯薄膜，适合工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 法制 大面积 石墨 薄膜 | ||
【主权项】：
合金法制备大面积石墨烯薄膜，其特征在于：制备步骤包括：步骤1，在耐高温衬底上沉积含碳合金薄膜；步骤2，将合金薄膜置于高温下退火，使碳原子在合金薄膜表面富集，并开始外延生长石墨烯薄膜；步骤3，将衬底和石墨烯薄膜快速降温至室温，优化石墨烯薄膜的结晶性能，获得生长于合金薄膜表面的高质量大面积石墨烯薄膜。
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