[发明专利]伽玛碘化亚铜超快X射线闪烁转换屏的制备方法

摘要

本发明提供一种制备伽玛碘化亚铜超快X射线闪烁转换屏的方法。以高纯CuI为原料，采用真空热蒸镀法和气氛退火工艺，通过选择合适的蒸镀温度、衬底温度、退火处理等工作条件，在石英等衬底上制备γ-CuI闪烁转换屏，所获得的转换屏晶型为γ相，微观形貌呈垂直于衬底的微柱状结构，有利于抑制闪烁光的侧向传播，闪烁峰位于430nm，发光衰减时间为亚纳秒量级，该薄膜组分稳定、厚度均匀、无开裂，在超高速数字化X射线成像方面有着重要的应用价值。本发明适合于工业化生产，推广应用价值高。

主权项

一种具有超快闪烁性能的伽玛碘化亚铜X射线转换屏的制备方法，其特征在于伽玛碘化亚铜化学式：γ‑CuI，具体步骤如下：1) 将衬底放入丙酮中超声清洗，然后放置于浓硫酸溶液中加热煮沸，随后用热去离子水冲洗衬底，超净风干后干燥保存；2) 将洗净的衬底固定在蒸镀室内上方的工件架上，然后将称取的CuI粉末置于蒸镀舟内，蒸镀舟位于衬底的正下方，蒸镀舟与衬底之间用挡板挡住，控制蒸镀舟与衬底间的距离：15cm‑10cm，3) 打开真空泵，使蒸镀室内的真空度为0.1×10‑3Pa ‑ 4.0×10‑3Pa； 4) 工件架配有加热及旋转设备，在抽真空过程中可调整衬底温度，衬底温度为室温‑250℃；在开始蒸镀薄膜前使工件架以45‑75rpm的转速匀速旋转；5) 待真空度及衬底温度达到平衡后，打开蒸镀舟加热电源，将蒸镀舟加热至380‑470℃，并保持温度不变；6) 待蒸镀舟达到预定温度步骤5)的温度后，使工件架以45‑75rpm的转速匀速旋转并打开挡板，开始蒸发，通过测厚仪在线测量所制备转换屏的薄膜厚度，待膜厚达到预定要求后，关闭挡板、蒸镀舟电源、衬底加热电源和工件架转动电源；7) 真空环境自然冷却至室温后关闭真空泵，取出γ‑CuI薄膜；8) 将γ‑CuI薄膜置于退火装置中进行碘退火，退火温度为室温至250℃，退火时间为0.1‑10h，自然冷却后，置于干燥避光处储存。