[发明专利]一种条纹对比度可调的大数值孔径点衍射干涉装置及方法

摘要

本发明公开了一种条纹对比度可调的大数值孔径点衍射干涉装置及方法。线偏振激光器经二分之一波片、第一个四分之一波片和准直扩束系统后产生平行光，由显微物镜会聚到点衍射板的衍射针孔上，检测波前W1通过第二个四分之一波片后会聚于O点处得到球面波前W1'，经待测球面反射回来的反射光波再次通过第二个四分之一波片后得到旋向与参考波前W2相反的圆偏振光，再经点衍射板上的金属反射膜反射，检测波前W1和参考波前W2会合后经过准直透镜变为平面波，经过第三个四分之一波片、检偏器和成像透镜后于探测器上得到干涉条纹，探测器实时采集对应干涉图。本发明简化了点衍射干涉调整难度，为大数值孔径球面尤其是低反射率球面的高精度检测提供了可行方法。

主权项

一种条纹对比度可调的大数值孔径点衍射干涉装置，其特征在于，它包括线偏振激光器(1)、二分之一波片(2)、第一个四分之一波片(3)、准直扩束系统(4)、显微物镜(5)、点衍射板(6)、第二个四分之一波片(7)、待测球面(8)、压电移相器(9)、准直透镜(10)、第三个四分之一波片(11)、检偏器(12)、成像透镜(13)、探测器(14)和计算机(15)；线偏振激光器(1)、二分之一波片(2)、第一个四分之一波片(3)、准直扩束系统(4)、显微物镜(5)、点衍射板(6)、准直透镜(10)、第三个四分之一波片(11)、检偏器(12)、成像透镜(13)、探测器(14)、计算机(15)顺次相连；点衍射板(6)、第二个四分之一波片(7)、待测球面(8)、压电移相器(9)、计算机(15)顺次相连；点衍射板(6)包括玻璃基底(61)、金属反射膜(62)和衍射针孔(63)三部分，金属反射膜(62)镀于玻璃基底(61)之上，金属反射膜(62)上设有衍射针孔(63)。